真空泵原理和种类
真空泵(即真空帮浦)的作用是将一空间中的气体排出制造真空状态的机器,它被大量运用医疗、化工、加工、机械...等产业上。
一、真空帮浦(真空泵)原理
1.真空泵基本上可以分为两型
(1).气体传输泵---气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵。
(2).气体捕集泵---气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。
2.真空在进行抽气时,会经历以下的阶段
(1).大气抽至中真空范围,压力随时间之变化为自然对数的衰减,抽气过程是非常的快速,时间极短。
(2).当从中度真空进入高真空范围时,表面吸附性气体的退吸决定压力。
(3).最后在高真空范围时,表面吸附的气体分子渐被抽尽 。
二、真空的分类
1.排气式真空帮浦
(1).正位移式帮浦(positive displacement type)
2.往复式真空帮浦
(1).回转式帮浦(rotary pump and scroll pump)
(2).动能式帮浦(kinetic energy type)
(3).机械动能传递式(turbo-molecular pump)
(4).流体(蒸气)动能传递式(diffusion pump)
3.贮气式真空帮浦
(1).吸附式帮浦(surface adsorption type pump)
(2).吸附帮浦(sorption pump)
(3).结拖帮浦(getter pump)
(4).冷冻帮浦(cryogenic pump,简称cryo pump)
(5).离子帮浦(ion pump)
三、真空泵选择方式
1.抽气速率:即真空帮浦进行抽气时的速率大小
2.气体选择性:与帮浦操作原理相关
3.终极压力(Ultimate Pressure)即帮浦能抽到的最低压力,通常帮浦本身的结构及密闭性会影响到该设备的终极压力为何?
4.排气口的压力
5.帮浦清洁度
四、真空泵保养维护
1.按时间更换帮浦油(油式真空帮浦)。
2.定期请原厂做保养维护。
3.真空帮浦有问题时,千万不要自行拆卸维修,要请通知原厂工程师进行了解后,才进行真空帮浦维修工作。
五、真空帮浦油
真空帮浦的压力取决于油的饱和蒸气压。因此对于真空帮浦油的选择也是非常重要的。一般性抽气帮浦与高腐蚀性抽气帮浦所使用的真空帮浦油也有所不同。
1.真空帮浦油对于真空帮浦的帮助
(1).密封:防止大气进入排气阀,有相对运动零件间的间隙密封(转子与定子、旋片与转子槽等)。
(2).润滑:相对运动件间的润滑,降低磨损。
(3).冷却:油在帮浦内与油箱间循环,散热、冷却。
(4).携行:将磨损产生的尘粒或其他颗粒携行到油中,减小磨损伤害。
(5).保护:形成保护性油膜,避免水及化学蒸汽凝结物腐蚀帮浦内部
2.真空帮浦更换
(1).真空帮浦每日运转建议三个月需换一次油。
(2).真空帮浦每周运转一次建议半年需更换一次油。
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