本年度主力维修
LEYBOLD SP630
EDWARDS iXL120
KASHIYAMA NeoDry 15C / 36CE
ULVAC CR30A / CR60A / CR300A

本公司维修各式进口真空泵浦厂家
adixen Alcatel. 2005 2010 2015 2021 2033 2063 2100 ACP15 28 40 R151 301 601
BUSCH. RA0016 0021 0040 0063 0100 0160 0202 0250 0302 0400 0630 KC0010 0016
BECKER. VT3.6 4.8 4.16 4.25 4.40 U4.20 4.100 4.250 DVT 3.60 3.80 3.100 3.140
EDWARDS. RV3 5 8 12 E2M5 8 12 18 28 40 80 175 275 EH250 500 1200 2600 4200 GV80
HITACHI.
LEYBOLD. D2.5 5 10 16E D4 8 16 25 40 65B WA/WAU/WS/WSU 151 251 501 1001 2001
KASHIYAMA. NEODRY 15 36
PVR. EU105
maruyama. KP-3000
MITSUVAC. MSV100
ORION. KRX1 3 5 6 KRA8 10
IWATA. ISP90 250 500
PFEIFFER. UNO/DUO 2.5 005 3 5 10 20 35 65
RIETSCHLE. VC50 75 100 150 202 300 303 KTA/VTA 80 100 140
ULVAC. VD/VDN 301 401 601 901 EC403 603 803 PMB001 003 006 012 024
VARIAN. SH110 300SD 600SD
WOOSUNG. TRP12 24 48 60 90 MVP
SHIBAURA. DRP360 DRP1400
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